เสิ่นหยาง แสงดาว ขั้นสูง เซรามิค ประสบความสำเร็จครั้งสำคัญในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ด้วยท่อซับขนาดเส้นผ่านศูนย์กลางภายนอก 451 มม. ที่แม่นยำสำหรับการประมวลผลเวเฟอร์ขนาด 12 นิ้ว

บริษัท เสิ่นหยาง แสงดาว ขั้นสูง เซรามิค โค., จำกัด. ซึ่งเป็นผู้บุกเบิกด้านการผลิตซิลิกอนคาร์ไบด์ที่มีความเชี่ยวชาญมากว่าสามทศวรรษ ได้ประสบความสำเร็จอย่างยิ่งใหญ่ในการส่งมอบท่อซับแบบเส้นผ่านศูนย์กลางภายนอก (โอดี) 451 มม. เฉพาะทางสำหรับกระบวนการผลิตเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ขนาด 12 นิ้ว ความสำเร็จนี้ตอกย้ำความเป็นผู้นำของบริษัทในการพัฒนาส่วนประกอบเซรามิกที่สำคัญสำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ระดับโลก ท่อซับที่พัฒนาขึ้นใหม่ได้รับการออกแบบมาโดยเฉพาะสำหรับการใช้งานการประมวลผลเวเฟอร์อุณหภูมิสูง มีเส้นผ่านศูนย์กลางภายนอกหน้าแปลนที่เหมาะสมที่ 451 มม. ออกแบบมาเพื่อตอบสนองข้อกำหนดที่เข้มงวดของอุปกรณ์การผลิตเซมิคอนดักเตอร์ขั้นสูง โดยใช้ซิลิกอนคาร์ไบด์ที่มีความบริสุทธิ์สูงเป็นพิเศษ (≥99.999%) พร้อมความเสถียรทางความร้อนที่ยอดเยี่ยม (ช่วงการทำงาน: อุณหภูมิแวดล้อมถึง 1,450°C)ท่อซับ ส่วนประกอบต่างๆ ช่วยให้การขยายตัวจากความร้อนน้อยที่สุด (สัมประสิทธิ์ 4.0×10⁻⁶/K) และทนต่อก๊าซจากกระบวนการกัดกร่อนได้ดีเยี่ยม ทำให้มีประสิทธิภาพที่สม่ำเสมอในกระบวนการออกซิเดชัน การแพร่กระจาย และการสะสมไอเคมี (โรคหลอดเลือดหัวใจ) วิศวกรรมที่แม่นยำของท่อซับในรับประกันความคลาดเคลื่อนของมิติภายใน ±0.05 มม. และความหยาบของพื้นผิวต่ำกว่า รา 0.1μm ซึ่งมีความสำคัญต่อการรักษาความสมบูรณ์ของเวเฟอร์และลดความเสี่ยงจากการปนเปื้อนของอนุภาคในสภาพแวดล้อมห้องปลอดเชื้อ

การ ท่อซับกระบวนการพัฒนานี้เกี่ยวข้องกับความร่วมมือด้านการวิจัยและพัฒนาอย่างเข้มงวดเป็นเวลา 18 เดือนกับผู้ผลิตเซมิคอนดักเตอร์ชั้นนำ โดยใช้การวิเคราะห์องค์ประกอบไฟไนต์ขั้นสูง (เอฟอีเอ) เพื่อปรับการไหลของก๊าซและความสม่ำเสมอของความร้อนให้เหมาะสมที่สุดทั่วทั้งเส้นผ่านศูนย์กลางภายใน 300 มม. การทดสอบวงจรความร้อนมากกว่า 500 ครั้งได้พิสูจน์แล้วว่าท่อซับ' ความทนทานภายใต้ความผันผวนของอุณหภูมิที่รวดเร็ว ในขณะที่เทคนิคการเผาผนึกที่เป็นกรรมสิทธิ์ช่วยให้มั่นใจได้ท่อซับ ความสมบูรณ์ของโครงสร้างภายใต้อุณหภูมิที่รุนแรง การผลิตเกิดขึ้นในห้องปลอดเชื้อ ไอเอสโอ ระดับ 5 โดยแต่ละหน่วยจะต้องผ่านการตรวจสอบอย่างครอบคลุม ท่อซับการตรวจสอบคุณภาพ รวมถึงการทดสอบการรั่วไหลของฮีเลียม การวิเคราะห์ก๊าซตกค้าง (อาร์จีเอ) และการตรวจสอบความถูกต้องของการวัดโดยใช้เครื่องสแกนเลเซอร์และเครื่องวัดพิกัด (ซีเอ็มเอ็ม) ผู้ที่นำเทคโนโลยีขั้นสูงมาใช้ในการผลิตชิปตรรกะและหน่วยความจำในช่วงแรกๆ รายงานว่าเวลาหยุดทำงานของเตาลดลง 35% และผลผลิตเวเฟอร์ดีขึ้น 20% เมื่อเทียบกับแผ่นควอตซ์แบบดั้งเดิม ซึ่งเป็นผลมาจากความเฉื่อยทางเคมีที่มีอยู่ในวัสดุและความต้องการในการบำรุงรักษาที่ลดลง

นี้ ท่อซับนวัตกรรมดังกล่าวช่วยตอบโจทย์ความต้องการที่เพิ่มขึ้นของอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์สำหรับขนาดเวเฟอร์ที่ใหญ่ขึ้นและความสม่ำเสมอของกระบวนการที่สูงขึ้น โดยเฉพาะอย่างยิ่งเมื่อผู้ผลิตเปลี่ยนมาใช้โหนดขนาดต่ำกว่า 5 นาโนเมตร การออกแบบเส้นผ่านศูนย์กลางภายนอก 451 มม. ช่วยให้สามารถผสานรวมกับเตาเผาแนวตั้งรุ่นถัดไปได้อย่างราบรื่น ในขณะที่ระดับสิ่งเจือปนโลหะที่ต่ำเป็นพิเศษของวัสดุ (<0.1ppb) ช่วยป้องกันการปนเปื้อนของสารเจือปนในกระบวนการที่ละเอียดอ่อน นอกเหนือจากการใช้งานในปัจจุบันแล้ว Shenyang Starlight ยังพัฒนาชิปอัจฉริยะอย่างแข็งขันท่อซับต้นแบบที่มีเซ็นเซอร์ฝังไว้สำหรับการตรวจสอบอุณหภูมิแบบเรียลไทม์และระบบการจัดการความร้อนแบบปรับได้ที่เข้ากันได้กับระบบนิเวศการผลิตแบบอุตสาหกรรม 4.0

ด้วยประสบการณ์ยาวนาน 30 ปีและความร่วมมือกับลูกค้าที่ประสบความสำเร็จมากกว่า 2,000 ราย เสิ่นหยาง แสงดาว ยังคงขับเคลื่อนการสร้างสรรค์นวัตกรรมในด้านเซรามิกประสิทธิภาพสูง โดยผสมผสานความเป็นเลิศด้านวิทยาศาสตร์วัสดุกับวิศวกรรมแม่นยำ เพื่อแก้ปัญหาที่ซับซ้อนที่สุดในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์