เสิ่นหยาง แสงดาว ขั้นสูง เซรามิกส์: มรดก 30 ปีแห่งการบุกเบิกการเปลี่ยนผ่านซิลิกอนคาร์ไบด์สู่แนวหน้าของเซมิคอนดักเตอร์

บริษัท เสิ่นหยาง สตาร์ไลท์ แอดวานซ์ เซรามิกส์ จำกัด ผู้บุกเบิกด้านการผลิตซิลิกอนคาร์ไบด์ด้วยความเชี่ยวชาญยาวนานกว่าสามทศวรรษ กำลังเปลี่ยนผ่านเชิงกลยุทธ์จากการผลิตเฟอร์นิเจอร์เตาเผาแบบดั้งเดิมไปสู่โซลูชันระดับเซมิคอนดักเตอร์ ด้วยความเชี่ยวชาญทางเทคนิคที่หยั่งรากลึกและศักยภาพด้านห่วงโซ่อุปทานระดับโลก บริษัทจึงพร้อมที่จะนิยามความแม่นยำใหม่ซิลิกอนคาร์ไบด์ส่วนประกอบสำหรับการผลิตชิปรุ่นถัดไป

จากเตาเผาสู่ชิป: วิวัฒนาการเชิงกลยุทธ์

เสิ่นหยาง สตาร์ไลท์ ก่อตั้งขึ้นในปี พ.ศ. 2538 ในฐานะบริษัทร่วมทุนระหว่างจีนและเยอรมนี โดยเริ่มต้นจากการผลิตชิ้นส่วนเตาเผาอุตสาหกรรม ได้รับการยอมรับในฐานะองค์กรเทคโนโลยีขั้นสูงระดับประเทศ และส่งออกผลิตภัณฑ์ไปยังกว่า 20 ประเทศ ด้วยเซมิคอนดักเตอร์ซิลิกอนคาร์ไบด์ตลาดคาดว่าจะเกิน 10 พันล้านดอลลาร์ภายในปี 2571 บริษัทเริ่มกระจายการลงทุนในปี 2562 ด้วยการจัดตั้งแผนกวัสดุขั้นสูง โดยมุ่งเป้าไปที่ผลิตภัณฑ์ที่มีความบริสุทธิ์สูงซิลิกอนคาร์ไบด์ชิ้นส่วนโครงสร้างสำหรับอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์

“การเปลี่ยนแปลงของเราสอดคล้องกับความพยายามของจีนในการพึ่งพาตนเองด้านเซมิคอนดักเตอร์” คุณ ซิง ซีอีโอกล่าวซิลิกอนคาร์ไบด์ความเสถียรทางความร้อนและความบริสุทธิ์ทำให้มีความจำเป็นสำหรับระบบการกัด การสะสม และการจัดการเวเฟอร์

ความก้าวหน้าทางเทคโนโลยีขับเคลื่อนการเปลี่ยนแปลง

1. นวัตกรรมวัสดุที่มีความบริสุทธิ์สูงพิเศษ

ปัจจุบันบริษัทผลิต 4N+ (ความบริสุทธิ์ 99.99%)ซิลิกอนคาร์ไบด์ผงผ่านกระบวนการกลั่นที่เป็นกรรมสิทธิ์ซึ่งช่วยกำจัดสิ่งเจือปนโลหะที่สำคัญสำหรับกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์ที่ไวต่อการปนเปื้อน

การเผาผนึกหลายขั้นตอน (การเชื่อมปฏิกิริยา การตกผลึกใหม่ และการกดร้อน) ช่วยให้มั่นใจได้ถึงความหนาแน่น >3.1 g/ซม.³ ตรงตามข้อกำหนด เอเอสเอ็มแอล และ โทร. สำหรับความเข้ากันได้กับสุญญากาศ

2. ความสามารถในการผลิตที่แม่นยำ

เทคนิคการขึ้นรูปขั้นสูง รวมถึงการกดแบบไอโซสแตติกและการพิมพ์ 3 มิติ ทำให้สามารถสร้างรูปทรงเรขาคณิตที่ซับซ้อน เช่น หุ่นยนต์จัดการเวเฟอร์และแผ่นซับในห้อง โรคหลอดเลือดหัวใจ ที่มีความคลาดเคลื่อน ±0.01 มม.

การตัดเฉือนด้วยเลเซอร์ที่เป็นกรรมสิทธิ์ช่วยลดความเสียหายใต้ผิวดินได้ 60% เมื่อเปรียบเทียบกับการเจียรแบบธรรมดา ซึ่งถือเป็นสิ่งสำคัญสำหรับความหยาบของพื้นผิวน้อยกว่า 1 นาโนเมตรในขั้นตอนการพิมพ์หิน

3. การทำงานร่วมกันระหว่างอุตสาหกรรม

จากประสบการณ์ในการวิจัยและพัฒนาส่วนประกอบเตาเผามาหลายสิบปี บริษัทได้นำการออกแบบที่ทนทานต่อแรงกระแทกจากความร้อน (เดิมทีใช้สำหรับการเผาเซรามิกที่อุณหภูมิ 1,600°C) มาปรับใช้กับระบบการประมวลผลความร้อนอย่างรวดเร็ว (อาร์ทีพี) ของเซมิคอนดักเตอร์ ทำให้มีอายุการใช้งานยาวนานขึ้น 30% เมื่อเทียบกับทางเลือกควอตซ์

กลุ่มผลิตภัณฑ์เซมิคอนดักเตอร์

ตัวพาเวเฟอร์: ตกผลึกใหม่ซิลิกอนคาร์ไบด์ถาดสำหรับเตาเผาแบบกระจายอุณหภูมิสูง ลดการเกิดอนุภาคได้ 50% เมื่อเทียบกับอะลูมินา

หัวจับสุญญากาศ: การปล่อยก๊าซต่ำซิลิกอนคาร์ไบด์หัวจับไฟฟ้าสถิตพร้อมช่องระบายความร้อนแบบฝังสำหรับระบบลิโธกราฟี อียูวี

ส่วนประกอบที่ทนทานต่อพลาสมา: เชื่อมด้วยไนไตรด์ซิลิกอนคาร์ไบด์โล่สำหรับเครื่องมือกัดกร่อน ผ่านการรับรองการทดสอบพลาสม่ากัดกร่อนนานกว่า 500 ชั่วโมง

การสร้างระบบนิเวศเชิงความร่วมมือ

1. ความร่วมมือทางวิชาการ: การร่วมพัฒนาควอนตัมดอตที่ได้รับการปรับปรุงซิลิกอนคาร์ไบด์การเคลือบด้วยมหาวิทยาลัย เสิ่นหยาง เพื่อลดการติดเวเฟอร์ในสภาพแวดล้อมสุญญากาศสูง

2. พันธมิตรอุตสาหกรรม: เข้าร่วม เหลียวหนิง สารกึ่งตัวนำ วัสดุ คอนซอร์เทียม ในปี 2024 โดยแบ่งปันซิลิกอนคาร์ไบด์มาตรฐานการประมวลผลกับ เอสเอ็มไอซี และ นาอูร่า

3. การรับรองระดับโลก: ได้รับการรับรองมาตรฐาน กึ่ง S2 ในไตรมาสที่ 2 ปี 2568 ปูทางไปสู่การอนุมัติโรงหล่อระดับ ชั้น 1

ความท้าทายและแผนงานในอนาคต

ในขณะที่ผลิตภัณฑ์เตาเผาแบบดั้งเดิมยังคงสร้างรายได้ถึง 65% แต่แผนกเซมิคอนดักเตอร์มีเป้าหมายเติบโต 40% ต่อปีผ่านทาง:

การขยายกำลังการผลิต: เพิ่มสายการผลิตแบบไอโซสแตติกเป็นสองเท่าภายในไตรมาส 3 ปี 2569 เพื่อตอบสนองความต้องการเครื่องมือเวเฟอร์ขนาด 8 นิ้ว

การควบคุมคุณภาพที่ขับเคลื่อนด้วย AI: การนำวิสัยทัศน์ของเครื่องจักรมาใช้งานเพื่อตรวจจับข้อบกพร่องแบบเรียลไทม์ระหว่างการทำงานด้วย ซีเอ็นซี

เศรษฐกิจหมุนเวียน: รีไซเคิลสารละลายบด 95% ผ่านระบบการกรองที่ได้รับสิทธิบัตร สอดคล้องกับเป้าหมาย อีเอสจี

“การเดินทาง 30 ปีของเราสะท้อนถึงวิวัฒนาการการผลิตของจีน” จาง เว่ย ประธานเจ้าหน้าที่ฝ่ายเทคโนโลยีกล่าว “ตั้งแต่ชั้นวางเตาเผาไปจนถึงโรงงานผลิตชิป เรากำลังเขียนซิลิกอนคาร์ไบด์บทต่อไป—ทีละชั้นอะตอม”