เสิ่นหยาง แสงดาว ขั้นสูง เซรามิค ประสบความสำเร็จในการส่งมอบโครงเรือซิลิกอนคาร์ไบด์สามเสาขนาด 8 นิ้วสำหรับการประมวลผลเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์

บริษัท เสิ่นหยาง แสงดาว ขั้นสูง เซรามิค จำกัด ผู้ผลิตผลิตภัณฑ์ซิลิกอนคาร์ไบด์ชั้นนำที่มีประสบการณ์ในอุตสาหกรรมมากกว่า 30 ปี ประสบความสำเร็จครั้งสำคัญในการพัฒนาและส่งมอบเรือซิลิกอนคาร์ไบด์ 3 เสาขนาด 8 นิ้วเฉพาะทางสำหรับการใช้งานการอบชุบด้วยความร้อนแผ่นเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์เมื่อไม่นานนี้

ความก้าวหน้าในเทคโนโลยีการประมวลผลเวเฟอร์

หน้าจอ 8 นิ้วที่พัฒนาขึ้นใหม่ซิลิกอนคาร์ไบด์เรือสามเสาถือเป็นความก้าวหน้าครั้งสำคัญในเทคโนโลยีการจัดการเวเฟอร์ ซึ่งได้รับการออกแบบมาโดยเฉพาะเพื่อ:

• การประมวลผลอุณหภูมิสูงของเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ขนาด 200 มม.

• การกระจายความร้อนสม่ำเสมอในระหว่างขั้นตอนการผลิตที่สำคัญ

• ลดความเสี่ยงจากการปนเปื้อนในสภาพแวดล้อมห้องปลอดเชื้อ

ความเหนือกว่าทางเทคนิค

เรือที่ได้รับการออกแบบอย่างแม่นยำเหล่านี้มีคุณสมบัติดังต่อไปนี้:

• ความบริสุทธิ์สูงเป็นพิเศษซิลิกอนคาร์ไบด์วัสดุ (ความบริสุทธิ์ 99.99%)

• การออกแบบสามเสาที่ปรับให้เหมาะสมเพื่อลดการสัมผัสเวเฟอร์ให้น้อยที่สุด

• ทนทานต่อการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิอย่างรวดเร็วได้ดีเยี่ยม (ทนอุณหภูมิที่เปลี่ยนแปลงอย่างรวดเร็วได้สูงถึง 1,400°C)

• ความเฉื่อยทางเคมีที่เหนือกว่าต่อก๊าซกระบวนการกัดกร่อน

ตอบสนองความต้องการของอุตสาหกรรม

"8นิ้วของเราซิลิกอนคาร์ไบด์เรือสามเสาตอบสนองความต้องการที่เพิ่มขึ้นของอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์สำหรับตัวพาเวเฟอร์ที่เชื่อถือได้และมีประสิทธิภาพสูง ดิ๊ๆๆๆ ดร. หลี่ ประธานเจ้าหน้าที่ฝ่ายเทคโนโลยี กล่าว ดิ๊ๆๆๆ เรือเหล่านี้มีข้อได้เปรียบที่สำคัญเหนือตัวพาควอตซ์แบบดั้งเดิม รวมถึงอายุการใช้งานที่ยาวนานขึ้นและเสถียรภาพทางความร้อนที่ดีกว่า ดิ๊ๆๆๆ

กระบวนการพัฒนาอันเข้มงวด

การพัฒนาผลิตภัณฑ์เกี่ยวข้องกับ:

• การวิจัยและพัฒนาอย่างเข้มข้นเป็นเวลา 18 เดือน

• ความร่วมมือกับผู้ผลิตเซมิคอนดักเตอร์ชั้นนำ

• การทดสอบวงจรความร้อนมากกว่า 200 ครั้ง

• มาตรการควบคุมการปนเปื้อนของอนุภาคอย่างเข้มงวด

การรับประกันคุณภาพ

แต่ละหน่วยจะต้องผ่านกระบวนการดังต่อไปนี้:

• การตรวจสอบความแม่นยำของมิติ (ความคลาดเคลื่อน ±0.02 มม.)

• การทดสอบความหยาบของพื้นผิว (รา < 0.2μm)

• การตรวจสอบภาพอย่างครอบคลุม

• การทำความสะอาดขั้นสุดท้ายและการบรรจุหีบห่อในห้องคลีนรูมคลาส 100

แอปพลิเคชั่น

เรือที่ใช้ในปัจจุบันนี้ใช้สำหรับ:

• กระบวนการแพร่กระจาย

• การบำบัดด้วยการอบอ่อน

• กระบวนการออกซิเดชัน

• การประยุกต์ใช้ โรคหลอดเลือดหัวใจ

การพัฒนาในอนาคต

จากความสำเร็จนี้ เสิ่นหยาง แสงดาว กำลังพัฒนา:

• เวอร์ชั่น 12 นิ้วสำหรับขนาดเวเฟอร์รุ่นถัดไป

• การออกแบบที่กำหนดเองสำหรับความต้องการกระบวนการที่เฉพาะเจาะจง

• สารเคลือบขั้นสูงสำหรับการใช้งานเฉพาะทาง

ความมุ่งมั่นของบริษัท

"ในฐานะบริษัทที่มีความเชี่ยวชาญด้านเซรามิกมากว่าสามทศวรรษ เรายังคงมุ่งมั่นที่จะขยายขอบเขตของเทคโนโลยีวัสดุเซมิคอนดักเตอร์ ดิ๊ๆๆๆ ดร. หลี่กล่าวเสริม "การเปิดตัวผลิตภัณฑ์นี้แสดงให้เห็นถึงความสามารถของเราในการพัฒนาโซลูชันที่ตอบสนองความต้องการที่เข้มงวดที่สุดของอุตสาหกรรม